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北京科锐:LPCVD设备的优点是工艺成熟度高有规模量产经验气

时间:2022-07-31 23:36:40 作者:KOK体育官方下载 来源:KOK全站APP下载
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  同花顺300033)金融研究中心6月30日讯,有投资者向北京科锐002350)提问, 请问公司的LPCVD设备与PECVD相比优劣如何,前景如何?今年以来订单量如何?谢谢

  公司回答表示,尊敬的投资者:您好!LPCVD设备的优点是工艺成熟度高,有规模量产经验,气体用量小,成膜质量好,设备投资少,占地面积小。缺点是绕镀,原位掺杂较难,能耗大,石英耗材成本较高,不同尺寸硅片兼容性差。感谢您的关注。

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